電子級(jí)超純水設(shè)備技術(shù)工藝解析

分類(lèi)：技術(shù)資料 /Technical Information
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發(fā)布時(shí)間：2019-06-19
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【概要描述】電子行業(yè)生產(chǎn)過(guò)程對(duì)生產(chǎn)用水使用要求非常高，集成電路的集成度越高，對(duì)水質(zhì)要求也越高。目前我國(guó)電子工業(yè)部把電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。使用重慶電子級(jí)超純水設(shè)備可以制取五個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的水?！　‰娮?、半導(dǎo)體、液晶顯示、光伏工業(yè)生產(chǎn)在制作過(guò)程中，往往需要使用極其純凈的超純水。如果純水水質(zhì)達(dá)不到生產(chǎn)工藝用水的要

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電子級(jí)超純水設(shè)備技術(shù)工藝解析

【概要描述】電子行業(yè)生產(chǎn)過(guò)程對(duì)生產(chǎn)用水使用要求非常高，集成電路的集成度越高，對(duì)水質(zhì)要求也越高。目前我國(guó)電子工業(yè)部把電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。使用重慶電子級(jí)超純水設(shè)備可以制取五個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的水?！　‰娮?、半導(dǎo)體、液晶顯示、光伏工業(yè)生產(chǎn)在制作過(guò)程中，往往需要使用極其純凈的超純水。如果純水水質(zhì)達(dá)不到生產(chǎn)工藝用水的要

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發(fā)布時(shí)間：2019-06-19
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　　電子行業(yè)生產(chǎn)過(guò)程對(duì)生產(chǎn)用水使用要求非常高，集成電路的集成度越高，對(duì)水質(zhì)要求也越高。目前我國(guó)電子工業(yè)部把電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、 10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。使用重慶電子級(jí)超純水設(shè)備可以制取五個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的水。

　　電子、半導(dǎo)體、液晶顯示、光伏工業(yè)生產(chǎn)在制作過(guò)程中，往往需要使用極其純凈的超純水。如果純水水質(zhì)達(dá)不到生產(chǎn)工藝用水的要求或者水質(zhì)不穩(wěn)定的話(huà)，會(huì)影響到后續(xù)工藝的處理效果和使用壽命。在光伏行業(yè)電子管生產(chǎn)中，如其中混入雜質(zhì)，就會(huì)影響電子的發(fā)射，進(jìn)而影響電子管的放大性能及壽命，在顯像管和陰極射線管生產(chǎn)中，其熒光屏內(nèi)壁用噴涂法或沉淀法附著一層熒光物質(zhì)，如其配制純水中含銅在8ppb以上，就會(huì)引起發(fā)光變色;含鐵在50ppb以上就會(huì)使發(fā)光變色、變暗、閃動(dòng)并會(huì)造成氣泡、條跡、漏光點(diǎn)等廢次品

　　電子級(jí)超純水設(shè)備工藝流程

　　1、采用離子交換方式，其流程如下：自來(lái)水→電動(dòng)閥→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→精密過(guò)濾器→陽(yáng)樹(shù)脂床→陰樹(shù)脂床→陰陽(yáng)樹(shù)脂混合床→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)。

　　2、采用兩級(jí)反滲透方式，其流程如下：自來(lái)水→電動(dòng)閥→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→精密過(guò)濾器→一級(jí)反滲透主機(jī)→PH調(diào)節(jié)→混合器→二級(jí)反滲透主機(jī)（反滲透膜表面帶正電荷）→純水箱→純水泵→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)。

　　3、采用高效反滲透加EDI方式，其流程如下（最新工藝性?xún)r(jià)比最高）：自來(lái)水→電動(dòng)閥→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→PH值調(diào)節(jié)系統(tǒng)→高效混合器→精密過(guò)濾器→高效反滲透→中間水箱→EDI水泵→EDI系統(tǒng)→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)。

　　電子級(jí)超純水處理系統(tǒng)特點(diǎn)

　　1.占地面積小，水利用率高，不會(huì)消耗大量酸堿，除鹽率可達(dá)99%以上。

　　2.電子級(jí)超純水處理系統(tǒng)缺點(diǎn)是投資相對(duì)較大。

　　3.電子級(jí)超純水處理系統(tǒng)將疊片式過(guò)濾器、超濾膜作及保安過(guò)濾器作為預(yù)處理，能去除水中懸浮物、膠體、余氯、泥沙等雜質(zhì)，使處理后的水符合反滲透進(jìn)水要求，在經(jīng)過(guò)反滲透膜除去溶解性鹽類(lèi)物質(zhì)、細(xì)菌等，然后使用連續(xù)電除鹽裝置進(jìn)一步脫鹽處理，使產(chǎn)水電阻率達(dá)到15MΩ.cm以上，再采用電子級(jí)純水樹(shù)脂拋光混床除鹽，使產(chǎn)水電阻率達(dá)到18.2MΩ.cm。使用TOC降解器和精密過(guò)濾器進(jìn)行后處理，防止被細(xì)菌二次污染。

　　4.重慶力德電子級(jí)超純水系統(tǒng)中主要元件如EDI膜塊等均選用國(guó)際知名品牌，全部按照反滲透膜設(shè)計(jì)以及EDI的進(jìn)水要求進(jìn)行設(shè)備選型，保證系統(tǒng)安全運(yùn)行。

　　電子級(jí)超純水設(shè)備的場(chǎng)合應(yīng)用

　　·電子級(jí)半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路；

　　·電子級(jí)超純材料和超純化學(xué)試劑；

　　·實(shí)驗(yàn)室和中試車(chē)間；

　　·汽車(chē)、家電表面拋光處理；

　　·其他高科技精微產(chǎn)品。

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